関西大学システム理工学部 機械工学科

ロボット・マイクロシステム研究室

高機能MEMSセンサ


高機能MEMSセンサ

高性能なMEMSセンサの開発を行っています.これらの成果はMEMSやTransducersといったメジャーな国際会議にアクセプトされています.携帯機器のみならず,将来的にはロボットへの応用も視野に入れています.本WEBサイトでは3つのセンサの例を紹介しましたが,これにとどまらず,多数の他のセンサの開発にもチャレンジしています.

現在取り組んでいるひとつのトピックとして,MEMSセンサをセラミック基板上に作製することが挙げられます.MEMSセンサは可動部分を有しています.そのため,MEMSセンサをハンドリングしてパッケージングする際に壊れてしまう可能性が高いという問題点があります.もしもMEMSセンサが従来のシリコンをベースとした基板上ではなく,最終製品のパッケージとなりうるセラミックの上に直接作製することができれば,上記したハンドリングの問題が解決し,製造コストが低減されることが期待できます.デモンストレーションとして,加速度センサとMR(磁気抵抗)センサに焦点を当て,これらMEMSセンサをセラミック基板上に直接作製することに挑戦しています.

浮遊ゲート構造を有するFETセンサ(傾斜,加速度,力センサへ応用可能)/MTC株式会社との共同研究

MOSFET

MOSFET

MOSFET

フリンジ電界と強誘電体を利用した加速度センサ

Acc_sensor

Acc_sensor

Acc_sensor

パーマロイ磁気収束板を利用した3軸磁気抵抗センサ

MRsensor

MRsensor

MRsensor

MRsensor

MRsensor

MRsensor

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